等离子体中自由基的存在对于清洁非常重要，等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用而自由基在它们的易相互作用中起着重要作用。等离子清洗装置的表面会发生化学链式反应，产生新的自由基或进一步分解，最终分解成易挥发的小分子。而紫外线则具有非常强的光能和传输能力，可以达到数微米，破坏附着在表面的物质的分子
